三美的MMS101是世界上最小的数字力和扭矩传感器。6轴传感器在三个正交轴上测量力和扭矩。该模块包括集成在金属挠曲上的微电子机械系统（MEMS）压阻（PRT）传感器以及多个模拟前端（AFE）IC。
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零件号 |
电气接口 |
尺寸 |
重量 |
测量 力/力矩 |
超载 力/力矩 |
精度 （全跨度） |
力敏感性 外汇，Fy/Fz |
转矩灵敏度 Mx，My/Mz |
数据表 |
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MMS101 |
SPI |
ɸ9.6 x 9.0 |
3克 |
±40 N/±0.4 N•m |
±200 N / N•m±1.8 |
±5.0% |
0.04 N RMS, 0.06N RMS |
0.0004牛顿米， 0.0008 N•米 |
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我们将MEMS PRT模具与金属弯曲结构相结合，创建了一个简单、可靠和成本效益高的传感器。MMS101利用六个模拟前端(AFE)集成电路提供数字SPI接口，完全校准输出。用于矩阵运算(从其他轴上移除干扰元件)的校正系数存储在AFE IC存储器中，并可以在测量开始前读取，从而消除了用户控制传感器和校正系数的需要。内置线性稳压器(LDO)降低噪音，提供高分辨率信号。MMS101的重量只有3克，直径9.6毫米，适用于在机械手的指尖测量力和扭矩。
MMS101评估套件用于在收到产品后验证操作，仅用于支持样品。该套件允许通过PC记录传感器数据，包括：
有关评估套件的详细信息，请参阅数据表中的选项部分。
| 软件 | 评估程序Single Channel.zip（268KB） |
| 说明书（PDF） | 单通道控制器手册（1MB） |
| 说明书（PDF） | 控制器单通道通信规范（299KB） |
| 软件 | 评估程序Multi-Channel.zip（95KB） |
| 说明书（PDF） | 多通道控制器手册（641KB） |
| 说明书（PDF） | 控制器多通道通信规范（509KB） |
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最后修改日期：2021年5月19日
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